近日，由北方特气（浙江）科技有限公司新建的硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目一期项目展开环评公示。
公示信息显示，该项目总投资281739万元，环保投1635万元，占该总体项目总投资的0.58%。项目建设地点位于浙江省舟山市舟山高新技术产业园区二期，项目用地约388亩。
项目包括五个产品系列：A、有机硅系列、B、单晶晶体、C、硅烷系列、D、同位素系列、E、空分系列。同时，联产氧气、氮气、氩气、 氢气、二氧化碳、氟化钙和三氟化铝等。
各系列产品具体产能为：
A.有机硅系列
B.单晶晶体:50吨/年
C.硅烷气系列：10000吨/年电子级硅烷，1000吨/年电子级四 氯化硅，1000吨/年电子级三氯化硅，500吨/年电子级二氯二氢硅，200吨/年电子级一氯硅烷（一氯硅烷转化为电子级三甲硅基烷胺100吨），50吨/年电子级六氯乙硅烷，10吨/年电子级乙硅烷。
D.同位素：40吨/年产高丰度硼-10（B10 酸），100吨/年高纯硼-11（B-11）电子级特气。
E.空分系列：氧气、氮气、氩气；副产：氢气1763万立方米/年、二氧化碳883万立方米/年。
据悉，北方特气项目将改善目前市场上电子级硅烷特气供不应求且长期以来主要依靠从美国、日本、韩国等国家进口的状态。
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