中科院福建物质结构所承担的太阳能级多晶硅材料提纯关键技术研发及检测服务平台标准化建设项目上周通过验收,项目成果已在福建亿田硅业有限公司获得应用,大规模产业化在即。
据项目主持人介绍,在项目实施过程中,他们突破了冶金法除硼的动力学极限,结合高真空除磷技术和真空熔炼定向凝固一体化技术,成功开发出一套具有普适性和自主知识产权的完整冶金法提纯多晶硅工艺,获得了高纯度(6N)的冶金法太阳能硅材料。采用该工艺可将硼、磷含量在10毫克/千克以上的工业硅原料,提纯至硼含量0.5~0.6毫克/千克、磷含量0.2~0.3毫克/千克的硅材料、金属杂质含量低于0.1毫克/千克,成品率达到60%,具有较好的产业化应用前景。
项目组还与福建亿田硅业有限公司合作,研发了炉外精炼与改进型二次精炼/定向凝固等核心关键技术,形成一套完整的多晶硅生产工艺,建成一条年产1500吨的多晶硅生产线。产品的硼、磷含量均在1毫克/千克左右,金属杂质含量低于0.8毫克/千克,成品率达到66%,能耗降低到90千瓦时/千克。
此外,该项目还以太阳能级硅材料标准分析测试平台和半导体光伏材料和器件的物理机制研究平台为依托,建成了太阳能级多晶硅材料综合测试实验室,并通过CMA计量认证。